功能描述
支持正壓檢漏，負(fù)壓檢漏
自動跟蹤本底，提供快速可靠的測量結(jié)果
優(yōu)化設(shè)計的質(zhì)譜系統(tǒng)和智能算法確保在所有量程快速響應(yīng)
高可靠性的真空系統(tǒng)和質(zhì)譜系統(tǒng)確?？焖偾搴?/span>
支持氮氣破空，不受環(huán)境氦氣干擾，快速降低本底
機器**的性能支持7*24小時長時間在線測試
機器**的性能支持幾秒一次的高頻率測試
配有檢漏口精細過濾器，過濾細微雜質(zhì)，確保機器不受雜質(zhì)影響和損傷
雙銥絲離子源，有效的系統(tǒng)設(shè)計，防大氣沖擊
支持定制檢漏工作臺，更加便捷使用
技術(shù)參數(shù)
小可檢漏率（負(fù)壓模式）  5×10-13Pa·m3/s
小可檢漏率（正壓模式） 1×10-8Pa·m3/s
檢漏口壓強         粗檢             1500Pa
                         中檢             200Pa
                         精檢             40Pa
響應(yīng)時間                              ＜1s
啟動時間                               ≤3min
外形尺寸（W×D×H）         845×465×988
重量                                    80Kg